Web展示会の見どころ
LCD・LED・タッチパネル・OLED・有機EL等の開発・製造ソリューション
東京応化のWEB展示会では、COOの低減、高付加価値化の実現を目指した、FPD（LCD・LED・タッチパネル・OLED・有機EL等）製造プロセスに最適な電子材料（フォトレジスト等）及び製造装置を発表します。 第10世代に向けた、エア浮上システム（FCS）によるフォトレジスト塗布装置は、「スピンレス」塗布装置を大幅に上回るタクト性能、基板の大型化を実現可能にしました。
東京応化工業の紹介
東京応化工業（TOK）は、半導体（TSV・MEMS含む）や太陽電池（PV）・フラットパネルディスプレイ(FPD)の製造に必要なフォトレジスト(感光性樹脂)などの化学薬品、製造装置を提供している会社です。
注目の展示（MEMS・TSV・WHS）
新技術紹介
エア浮上システムのメカニズムをCGにて解説。
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