WEB展示会

TOKが新たに販売するFCSシリーズは、エア浮上による基板搬送を利用したこれまでのスピンレスコーターの概念を変えるLCD用レジストコーターです。

基板サイズの大型化に対してレジストコーターはその姿を変えないままサイズを大きくする事で進化を遂げてきました。しかしながら基板サイズのさらなる大型化に伴い製造上の物理的な限界、輸送の限界に近づいていること、また、さらなる生産性向上を求める声が高まっていることからその構成を見直す時期に差し掛かっております。 TOKではこのようなニーズに対する回答としてこれまでの重量物であるノズルを移動し塗布する方式から軽量な基板を移動させ高速処理する新たな技術としてエア浮上式塗布装置を開発しました。

エア浮上式とすることで基板サイズの大型化に伴う製造上の問題を解決するとともに、基板入換え動作によるロスをなくし、さらなるタクト向上を実現することが可能となりました。また、これまでのスピンレス方式とは異なり、基板がステージ上に接触しないことから基板に対するストレスを低減し、異物による塗布膜への悪影響も解消されるため、更なる生産性向上が期待されます。 FCSシリーズは基板サイズの大型化に対する課題をエア浮上技術にて解決するとともにタクト短縮を始めとする生産向上を実現した、8世代以降の大型角基板用レジストコータースタンダードとなるモデルです。